소형 24위치 로터리 스핀 코터 | R&D 및 파일럿 생산을 위한 맞춤형 기판 크기 및 스핀 프로그램 제품개요 이것24 스테이션 스핀 코터포토레지스트, 폴리머, 나노입자 및 졸-겔 재료의 고처리량 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 각 스테이션은 독립적으로 또는 동기적으로 작동합니다. 시스템은 지원합니다맞춤형 스핀 프로필(가속, 지속 시간, 속도)을 각 스테...더 보기
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24 포지션 로터리 스핀 코터, 커스터마이징 가능한 기판 크기와 프로그래밍 가능한 스핀 프로파일