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제품 상세 정보:
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| 재료: | 펄프 | 코팅 수단: | DOD 잉크젯 헤드 |
|---|---|---|---|
| 가열원: | 전기 IR 가열 | 도포 면적: | 큰 영역 |
| 가열방식: | 전기 같은 | 코팅 두께 제어: | 조절할 수 있는 |
| 차원: | 고객 요구 사항 | 모델: | OSM-XT-450T |
| 생산 라인 통합: | 펄프 성형 생산 라인에 통합 가능 | ||
| 강조하다: | 24-위치 로터리 스핀 코터,얇은 필름 퇴적용 프로그래밍 가능한 스핀 코터,커스터마이징 가능한 기판 크기의 스핀 코터 |
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이 24개 스테이션 스핀 코터는 포토레지스트, 폴리머, 나노입자 및 졸겔 재료의 고처리량 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 각 스테이션은 독립적으로 또는 동기적으로 작동합니다. 이 시스템은 각 스테이션에 대해 사용자 정의 가능한 스핀 프로필(가속, 지속 시간, 속도)을 지원하므로 R&D 및 생산 환경 모두에 이상적입니다.
| 매개변수 | 값/범위 | 사용자 정의 옵션 |
|---|---|---|
| 역수 | 24 | ✔ 사용자 정의 가능(16/24/32개 스테이션) |
| 기판 크기 | 최대 12" 웨이퍼 또는 300×300 mm 패널 | ✔ 맞춤형 척 크기 |
| 회전 속도 범위 | 100 - 12,000rpm | ✔ 스테이션별로 프로그래밍 가능 |
| 속도 정확도 | ±1rpm | - |
| 가속 범위 | 100 - 10,000rpm/s | ✔ 레시피에 따라 조정 가능 |
| 스핀 시간 범위 | 1~999초/단계 | ✔ 사용자 정의 가능한 단계 |
| 분배량 | 노즐당 0.1~20mL | ✔ 맞춤형 노즐 유형 |
| 모터 유형 | 브러시리스 DC 서보 | - |
| 코팅 균일성 | ±3%(24개 국 간) | ✔ ±1%까지 업그레이드 가능 |
| 배기 흐름 | 150 - 500m³/h | ✔ 맞춤형 배기 인터페이스 |
| 전원공급장치 | 220V / 50-60Hz / 3.5kW | ✔ 맞춤형 전압 |
| 크기(L×W×H) | 1800×1200×900mm | ✔ 맞춤형 설치 공간 |
| 무게 | 520kg | - |
우리는 완전한 맞춤화를 제공합니다:
담당자: Mr. Zhang guoxin
전화 번호: +86 13926890692
팩스: 86-769-88120350
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