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상세 정보 |
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| 재료: | 펄프 | 코팅 수단: | DOD 잉크젯 헤드 |
|---|---|---|---|
| 가열원: | 전기 IR 가열 | 도포 면적: | 큰 영역 |
| 가열방식: | 전기 같은 | 코팅 두께 제어: | 조절할 수 있는 |
| 차원: | 고객 요구 사항 | 모델: | OSM-XT-450T |
| 생산 라인 통합: | 펄프 성형 생산 라인에 통합 가능 | ||
제품 설명
소형 24위치 로터리 스핀 코터 | R&D 및 파일럿 생산을 위한 맞춤형 기판 크기 및 스핀 프로그램
제품개요
이것24 스테이션 스핀 코터포토레지스트, 폴리머, 나노입자 및 졸-겔 재료의 고처리량 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 각 스테이션은 독립적으로 또는 동기적으로 작동합니다. 시스템은 지원합니다맞춤형 스핀 프로필(가속, 지속 시간, 속도)을 각 스테이션에 적용하여 R&D 및 생산 환경 모두에 이상적입니다.
기술 사양
| 매개변수 | 값/범위 | 사용자 정의 옵션 |
|---|---|---|
| 역수 | 24 | ✔맞춤형(16/24/32개 스테이션) |
| 기판 크기 | 최대 12" 웨이퍼 또는 300×300 mm 패널 | ✔맞춤형 척 크기 |
| 회전 속도 범위 | 100 - 12,000rpm | ✔스테이션별로 프로그래밍 가능 |
| 속도 정확도 | ±1rpm | - |
| 가속 범위 | 100 - 10,000rpm/s | ✔레시피별로 조정 가능 |
| 스핀 시간 범위 | 1~999초/단계 | ✔맞춤형 단계 |
| 분배량 | 노즐당 0.1~20mL | ✔맞춤형 노즐 유형 |
| 모터 유형 | 브러시리스 DC 서보 | - |
| 코팅 균일성 | ±3%(24개 국 간) | ✔±1%까지 업그레이드 가능 |
| 배기 흐름 | 150 - 500m³/h | ✔맞춤형 배기 인터페이스 |
| 전원 공급 장치 | 220V / 50-60Hz / 3.5kW | ✔맞춤형 전압 |
| 크기(L×W×H) | 1800×1200×900mm | ✔맞춤형 설치 공간 |
| 무게 | 520kg | - |
응용
- 반도체 웨이퍼 코팅(포토레지스트)
- OLED 및 페로브스카이트 태양전지 제조
- 바이오칩 및 고분자 필름 준비
- 광학용 반사 방지 코팅
- 나노소재 증착(그래핀, 양자점)
- R&D 다중 조건 스크리닝(24개의 서로 다른 매개변수 동시)
사용자 정의 옵션
우리는 제공합니다완전한 맞춤화:
- 역수: 8 / 12 / 16 / 24 / 32개 역
- 기판 모양 및 크기: 원형 웨이퍼, 정사각형 패널, 불규칙한 기판
- 디스펜스 시스템: 싱글니들, 멀티노즐, 스프레이, 잉크젯
- 환경관리: 습도, 온도, 입자여과
- 자동화 수준: 수동 로드, 반자동, 전체 인라인 통합
- 소프트웨어: 맞춤형 레시피 구조, 바코드 스캐닝, MES로 데이터 내보내기
주요 특징
- 독립 스핀 모터를 사용한 개별 스테이션 제어
- 레시피 라이브러리가 포함된 터치스크린(최대 999개 레시피)
- 스테이션 별 실시간 속도 및 시간 모니터링
- 기판 고정을 위한 적하 방지 진공 감지
- 자동 용매 디스펜서 동기화
- 저진동 및 음향 인클로저
- 비상 정지 및 인터록 보호
- 맞춤형배기 및 폐기물 수집 탱크
지원 및 서비스
- 설치 및 현장 교육
- 18개월 표준 보증(연장 가능)
- 원격 디버깅 및 IoT 지원 옵션
- 연간 교정 및 예방 유지보수 계획
- ≥10년 동안 예비 부품 공급
- 맞춤형 소프트웨어 개발 지원
포장 및 배송
- 포장: 정전기 방지 진공밀봉 + 합판 수출용 케이스 (충격방지, 방습)
- 배송 방법: 해상, 항공으로 FOB / CIF(벤치탑 장치의 경우 특급 옵션)
- 리드타임: 주문 확인 후 영업일 기준 30~45일(맞춤 제작 시 15일 추가)
- 포함된 문서: 사용설명서, 교정성적서, CE 신고서
자주 묻는 질문
Q1: 24개 스테이션에서 서로 다른 스핀 프로그램을 동시에 실행할 수 있나요?
답: 그렇습니다. 각 스테이션은맞춤형 독립 레시피(속도, 시간, 가속도).
Q2: 어떤 인쇄물 크기를 사용자 정의할 수 있습니까?
A: 5×5mm 칩부터 300×300mm 패널 또는 12인치 웨이퍼까지. 기판 도면을 제공해 주세요.
Q3: 이 기계의 클린룸이 호환됩니까?
답: 그렇습니다. 옵션 HEPA/ULPA 필터 모듈과 호환되는 클래스 100(ISO 5).
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