연구개발과 생산을 위한 완전 자동 24회전 프로세서이건24 스테이션 스핀 코터자동화 된 고 처리량 얇은 필름 퇴적을 위해 설계되었습니다. 24 개의 독립적 인 코팅 위치 중 각각은 지름 200 mm (또는 156 × 156 mm 제곱) 까지 기판으로 부착 될 수 있습니다.시스템은 순차적으로 분배를 완료, 가속, 스핀-홀드,사용자 정의 가능한 요리 데이터베이...더 보기
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완벽 자동 24 스테이션 스핀 코터 (맞춤형 디스펜스 및 스핀 속도, 높은 균일도 및 제로 교차 오염 기능)