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품질 연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터 공장
품질 연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터 공장
품질 연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터 공장
품질 연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터 공장
품질 연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터 공장
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연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터

연구 개발 실험실을 위한 최대 15,000rpm의 맞춤형 속도와 다단계 레시피 제어가 가능한 고정밀 단일 스테이션 스핀 코터
고 정밀 한 스테이션 스핀 코터 이건맞춤형 단일 스테이션 스핀 코터광 저항성, 폴리아미드, 솔 젤, 나노 입자 및 기타 기능 코팅을 기판에 균일한 얇은 필름 퇴적에 설계되었습니다.고정밀 연구개발,융합된 핫플레이트, 그리고대장본구성. 이 시스템은완전히 커스터마이징 가능회전 속도 범위, 기판 크기, 턱 종류, 그릇 재료 및 자동화 수준. 회전 코팅은 원심력으로 액체 코팅을 기판에 균등하게 분산합니다.필름 두께를나노미터에서 몇 마이크로까지예외적인 균일성으로 주요 장점은예외적인 속도 안정성 (< ± 1% 변동),낮은 진동 작동, 그리고화학...
원산지:중국
브랜드 이름:OSMANUV
인증:ISO9001
모델 번호:오스마누브
최소 주문 수량:1세트
가격:협상 가능
제품 맞춤 속성
강조하다

맞춤형 속도 스핀 코터

,

다단계 레시피 스핀 코팅기

,

고정밀 싱글 스테이션 스핀 코터

제어 시스템:
PLC 터치 스크린 컨트롤
대상물질:
웨이퍼
램프 종류:
탄소 섬유 유형
전원공급장치:
380V/50Hz
처리 두께:
3-80mm
코팅재료:
수성 차단 코트
꾸밈:
자외선 점, 질감, 모래 효과
제품 크기:
직경 350-420mm
제품 설명
고 정밀 한 스테이션 스핀 코터
이건맞춤형 단일 스테이션 스핀 코터광 저항성, 폴리아미드, 솔 젤, 나노 입자 및 기타 기능 코팅을 기판에 균일한 얇은 필름 퇴적에 설계되었습니다.고정밀 연구개발,융합된 핫플레이트, 그리고대장본구성.
이 시스템은완전히 커스터마이징 가능회전 속도 범위, 기판 크기, 턱 종류, 그릇 재료 및 자동화 수준. 회전 코팅은 원심력으로 액체 코팅을 기판에 균등하게 분산합니다.필름 두께를나노미터에서 몇 마이크로까지예외적인 균일성으로
주요 장점은예외적인 속도 안정성 (< ± 1% 변동),낮은 진동 작동, 그리고화학물질에 내성이 있는 공정 그릇(PP, PTFE 또는 스테인리스 스틸 316L에서 사용할 수 있습니다.) 컴팩트 벤치 톱 디자인은 연구 연구소, 파일럿 라인 및 소량 생산 환경에 이상적입니다.모듈 구조는 미래의 업그레이드를 지원합니다., 복수 분비 노즐, 질소 정화, 현장 난방 모듈을 포함합니다.
기술 사양
매개 변수 고정밀 연구개발 모델 통합 핫플레이트 모델 대형 포맷 / 생산 모델
기판 크기 (개인화) 직경 200mm까지 / 평방 지름 200mm까지 최대 450mm / 18"
회전 속도 범위 (개정 가능) 100 ~ 12,000 rpm 100 ~ 12,000 rpm 최대 15,000 rpm
속도 정확성 ±1 rpm 또는 ±0.5% ±0.5% ±0.1% (서보 모터)
가속 범위 (개정 가능) 100~10,000 rpm/s 프로그래밍 가능 1 ~ 50,000 rpm/s
프로그램 단계 (개인화) 10개의 프로그램, 각각 20단계 최대 100단계/프로그램 무제한 사용자 정의
Chuck 타입 (개인화) 진공 (알루미늄/PTFE/세라믹) 진공 (알루미늄) 진공/기계 클램프
컵 재료 (개인용) PP / PTFE / 스테인리스 스틸 316L PP / PTFE 스테인리스 스틸
열판 온도 (선택) 제1호 환경 - 300°C 선택 사항
제어 인터페이스 4.3" LCD / 7" HMI 7인치 HMI 터치 스크린 PLC + HMI / PC 기반
데이터 수출 USB (선택) USB / 이더넷 USB / 이더넷 / Modbus
전원 공급 장치 (개정 가능) 110/220V, 50/60Hz 110/220V 220/380V, 50/60Hz
전형적인 응용 반도체, OLED, 페로브스카이트 광 저항성 + 베이크 산업용 패널, 대형 웨이퍼
신청서
  • 반도체 및 MEMS: 광 저항 코팅, 전자 빔 리토그래피, 스핀 온 글래스 (SOG)
  • 광전자: OLED, 양자 점 얇은 필름, 반사 방지 코팅
  • 재료 과학: 솔 젤 퇴적, 나노 입자 필름, 폴리머 코팅
  • 생명공학: 바이오 센서 제조, 미세 유체장치 코팅
  • 신재생 에너지: 페로브스키트 태양 전지, 얇은 필름 태양 전지
  • 광학 산업: 렌즈 하드 코팅 (UV 경화 옵션)
주요 특징
  • 고 정밀 스핀 제어: ±0.5%의 속도 정확성과 프로그래밍 가능한 가속을 가진 고토크 브러쉬리스 모터로 반복되고 균일한 코팅을 보장합니다.
  • 연구개발 중심의 설계: 체계적인 프로세스 개발을 위한 다단계 레시피 프로그래밍 및 데이터 로깅 기능
  • 다재다능한 장착장치: 커스터마이징 할 수 있는 턱과 고정 장치가 복잡한 기하학이나 부서지기 쉬운 기판을 안정적으로 유지합니다.
  • 화학물질에 저항하는 건축물: PTFE, PP 또는 스테인리스 스틸 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용액 용
  • 사용자 친화적 인 인터페이스: 최적화된 매개 변수를 빠르게 기억하기 위해 레시피 저장장치와 직관적인 터치 스크린 HMI
  • 콤팩트한 발자국: 벤치 톱 디자인은 귀중한 실험실 또는 생산 바닥 공간을 절약합니다.
  • 안전 잠금 장치: 작동 중에 뚜?? 이 열리면 자동 정지
  • 데이터 추적성: 레시피 저장, 실시간 모니터링, USB/이더넷 수출
사용자 정의 옵션
이 단일 스테이션 스핀 코터는고도로 사용자 정의 가능귀하의 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해:
  • 회전 속도 범위: 50 rpm에서 15,000 rpm까지 -맞춤형
  • 턱 디자인 & 크기: 원형 (450mm 이하), 정사각형, 정사각형 또는 불규칙 기판용 기계화 된 진공 턱완전히 커스터마이징 가능
  • 그릇 재료: 폴리프로필렌 (PP), PTFE, 스테인리스 스틸 316L -맞춤형용매 저항성
  • 장착장치 종류: 진공 턱, 기계적 클램프, 또는 3D 프린트 된 사용자 지정 홀더 -맞춤형
  • 배급 시스템: 수동 주사기 / 자동 주사기 펌프 / 소레노이드 밸브 / 멀티 노즐 배열맞춤형
  • 열 통합: 선택적 인시투 IR 히터 또는 300°C까지의 뜨거운 판 -맞춤형
  • 환경 관리: 무활성 가스 정화 (N2), 습도 조절, 장갑 박스 통합 -맞춤형
  • 소프트웨어: 레시피 관리, 데이터 로깅, USB/이더넷 수출맞춤형
  • 자동화 수준: 완전 수동에서 반 자동으로 자동 분배 및 사이클 제어 -맞춤형
  • 안전: 잠겨있는 장치, 비상 정지, 유출 격리 -맞춤형
지원 및 서비스
  • 무료 프로세스 컨설팅 및 재료 테스트 - 우리에게 기판을 보내십시오
  • 맞춤형 펌프 설계 및 엔지니어링 서비스
  • 현장 설치 및 시공 (맞춤형지원 패키지)
  • 운영자 교육 프로그램 포함
  • 비디오 통화로 24시간 이내에 원격 문제 해결
  • 모터와 컨트롤러에 18개월 보증, 액세서리에 12개월 보증
  • 지역 창고 (미국/EU/아시아) 에서 예비 부품의 사용 가능성
  • 전화, 이메일 또는 채팅을 통해 평생 기술 지원
포장 및 운송
  • 포장: 항 정적 거품 + 강화 된 목재 케이스 (습기 민감한 구성 요소에 대한 건조제)
  • 표준 모델 납품 시간: 주문 확인 후 15-25 일
  • 사용자 지정 구성 전속 시간: 30-45 일 (특별 턱 또는 그릇에 더 오래)
  • 선박: F.O.B. 상하이 / C.I.F.
  • 사용자 정의: 수출 상자, 맞춤식 표기, 목적항 문서
자주 묻는 질문
Q1: 이 스핀 코터가 처리할 수 있는 최대 기판 크기는 무엇입니까?
A: 표준 R&D 모델은 150-200mm (6-8") 지름의 웨이퍼까지 처리합니다.맞춤형턱까지450mm (18")기판. 150×150mm까지의 제곱 기판도 지원됩니다.
Q2: 이 스핀 코터를 비둥근 기판에 사용할 수 있나요?
A: 예.맞춤형진공 턱과 정사각형, 직사각형 및 불규칙한 모양의 기판을위한 기계적 고정 장치. 사용자 정의 턱은 특정 제품 기하학에 맞게 3D 프린팅도 할 수 있습니다.사용자 정의 장착 디자인에 대한 기판 차원을 제공하십시오.
Q3: 전형적인 코팅 두께 균일성은 무엇입니까?
A: 적절한 프로세스 최적화와 함께 두께 균일성은 도달 할 수 있습니다< ± 1%기판 전체에 걸쳐 있습니다. 결과는 재료의 점도, 스핀 매개 변수, 기판 기하학에 따라 다릅니다. 우리는 당신의 특정 응용 프로그램을 확인하기 위해 무료 실험실 테스트를 제공합니다.