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높은 처리량 생산을 위한 산업용 듀얼 헤드 스핀 코팅 시스템
산업용 듀얼 헤드 스핀 코팅 시스템
,맞춤형 척 스핀 코터
,자동 디스펜싱 펄프 성형기
이것맞춤형 듀얼 스테이션 스핀 코터실리콘 웨이퍼, 유리, 폴리머 필름과 같은 기판에 높은 처리량의 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 사용 가능연구,청정실, 그리고산업 생산구성. 시스템은완전히 사용자 정의 가능척 크기, 회전 속도 범위, 프로그램 단계 수 및 분배 방법. 두 개의 독립 스테이션을 통해 동시 또는 교대 작업이 가능합니다. 한 스테이션은 코팅하는 동안 다른 스테이션은 로드/언로드 작업을 수행하여 생산성을 크게 향상시킵니다. 반도체, MEMS, 광학 및 인쇄 전자 산업의 포토레지스트 코팅, 졸겔 증착 및 장벽층 응용 분야에 이상적입니다.
| 매개변수 | 고속 연구 모델 | 클린룸 통합 모델 | 산업 생산 모델 |
|---|---|---|---|
| 역 수 | 2 독립 | 2 독립 | 2개의 독립형(또는 최대 4개까지 맞춤 설정 가능) |
| 회전 속도 범위 | 300 - 10,000rpm | 500 - 8,000rpm | 100 - 3,000rpm(최대 15,000까지 맞춤 설정 가능) |
| 속도 정확도 | ±1rpm | ±3% | ±1rpm(서보) |
| 가속도 제어 | 프로그래밍 가능한 다단계 | PID 규제 | 프로그래밍 가능한 다단계 |
| 기판 크기(맞춤형) | 스테이션당 최대 200mm(8") | 스테이션당 최대 300mm(12") | 최대 450mm(18") - 맞춤형 가능 |
| 프로그래밍 가능한 단계 | 스테이션당 10단계 | 스테이션당 5단계 | 레시피 기반(무제한) |
| 진공 시스템 | 스테이션당 독립 펌프 | 공유 + 솔레노이드 밸브 | 독립형 고유량 펌프 |
| 청결도 수준(선택 사항) | 해당 없음 | 클래스 100(Fed Std. 209E) | 클래스 1000 또는 맞춤형 |
| 인클로저 재료 | 스테인레스 스틸/PTFE | 스테인레스 스틸 + 부식 방지 | 내화학성 코팅 |
| 디스펜스 시스템 | 수동 주사기 / 노즐 | 반자동 정량 펌프 | 서보 구동 자동 투여 |
| 인터페이스 | 스테이션당 7인치 터치스크린 | 듀얼 터치스크린 | 데이터 로깅 기능이 있는 PLC + HMI |
| 전원공급장치 | AC 110/220V, 50/60Hz | AC 220V, 50/60Hz | AC 380V, 50/60Hz(맞춤형) |
| 치수 | ~700×400×300mm | 650×750×1620mm | 맞춤형 |
| 무게 | ~28kg | ~120kg | 맞춤형 |
- 반도체: 실리콘 웨이퍼에 포토레지스트 코팅, MEMS 소자
- 광전자공학: LED, 태양전지, 평판디스플레이용 박막증착
- 재료과학: Sol-gel, 폴리머, 나노복합체 코팅
- 생의학: 바이오센서 및 미세유동소자 제작
- 인쇄전자: 유연한 기판에 전도성 잉크 증착
- 포장: 식품용기 및 종이제품의 차단코팅
이 듀얼 스테이션 스핀 코터는고도로 맞춤화 가능특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하려면:
- 척 디자인 및 크기: 10mm~450mm 기판용 맞춤형 진공척
- 회전 속도 범위: 초박막 적용시 최대 15,000rpm까지 확장 가능
- 역 수: 멀티 배치 처리를 위해 3개 또는 4개 스테이션으로 확장 가능
- 디스펜스 시스템: 수동, 반자동 또는 서보 제어 펌프를 사용한 완전 자동
- 환경 관리: 클린룸(Class 10-100,000), 불활성가스 퍼지, 습도조절
- 열 통합: 핫플레이트(최대 300°C) 또는 UV 경화 모듈 내장
- 오토메이션: 로봇식 로딩/언로딩, 컨베이어 통합, 일괄 처리
- 인클로저 재료: 내용제성 PTFE, 스테인레스 스틸 또는 방폭 설계
- 병렬 처리: 두 개의 스테이션이 독립적으로 작동합니다. 코팅과 로드가 동시에 이루어지며 단일 스테이션 장치에 비해 처리량이 두 배로 늘어납니다.
- 독립적인 레시피 제어: 각 스테이션은 서로 다른 재료 또는 스핀 매개변수를 동시에 실행합니다.
- 높은 정밀도: 탁월한 균일성을 위해 ±1rpm 안정성을 갖춘 브러시리스 DC 또는 서보 모터
- 내화학성 챔버: 클린룸 호환성을 위해 내용제성 코팅 처리된 스테인레스 스틸 구조
- 안전 인터록: 각 스테이션의 뚜껑 인터록 및 비상 정지
- 데이터 추적성: 레시피 저장, 실시간 모니터링, USB/이더넷 내보내기(옵션)
- 낮은 유지보수: 밀봉형 베어링으로 진동이 없는 디자인
- 무료 프로세스 컨설팅 및 재료 테스트(기판을 보내주세요)
- 현장 설치, 교정 및 운영자 교육
- 모든 구성 요소에 대한 12개월 보증, 평생 기술 지원
- 48시간 이내에 예비 부품 가용성(척, 펌프, 모터)
- 영상 통화 또는 IoT 모니터링을 통한 원격 문제 해결(맞춤형)
- 포장: 정전기 방지 폼 + 강화 합판 케이스(수분에 민감한 부품을 위한 건조제 포함)
- 해운: 해상, 항공 또는 철도로 FOB 상하이 / CIF. 리드 타임: 맞춤 제작 확인 후 15~30일(맞춤 척 또는 자동화 통합의 경우 더 길어짐)
A: 듀얼 스테이션 기계는 하나의 제어 시스템과 공간을 공유하는 동시에 한 명의 작업자가 코팅하는 동안 한 명의 작업자가 한 스테이션을 로드/언로드할 수 있도록 하여 유휴 시간을 없애줍니다. 이로 인해 총 투자액이 낮아지고 실험실 공간이 작아지며 처리량은 높아집니다.
답: 그렇습니다. 각 스테이션에는 독립적으로 프로그래밍 가능한 제어 장치가 있어 교차 오염 없이 동시에 다양한 재료나 기판 크기를 코팅할 수 있습니다.
A: 척은맞춤형기판 크기 및 재료를 기준으로 합니다. 우리는 원형 웨이퍼(2"-12")용 표준 척을 제공합니다.맞춤형 척정사각형, 직사각형 또는 불규칙한 인쇄물에 적합합니다.
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