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제품 상세 정보:
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| 두께를 길게 베기: | 2g/개~8g/개 | 모델: | OSM-XT-2400T |
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| 기계 유형: | 코팅기 | 색상: | 맞춤형 |
| 작업 두께: | 3-80mm | 빛: | 적외선 IR 튜브 |
| 제어 시스템: | 터치스크린을 이용한 PLC 제어 | 기계 시험 보고서: | 제공 |
| 강조하다: | 산업용 듀얼 헤드 스핀 코팅 시스템,맞춤형 척 스핀 코터,자동 디스펜싱 펄프 성형기 |
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이것맞춤형 듀얼 스테이션 스핀 코터실리콘 웨이퍼, 유리, 폴리머 필름과 같은 기판에 높은 처리량의 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 사용 가능연구,청정실, 그리고산업 생산구성. 시스템은완전히 사용자 정의 가능척 크기, 회전 속도 범위, 프로그램 단계 수 및 분배 방법. 두 개의 독립 스테이션을 통해 동시 또는 교대 작업이 가능합니다. 한 스테이션은 코팅하는 동안 다른 스테이션은 로드/언로드 작업을 수행하여 생산성을 크게 향상시킵니다. 반도체, MEMS, 광학 및 인쇄 전자 산업의 포토레지스트 코팅, 졸겔 증착 및 장벽층 응용 분야에 이상적입니다.
| 매개변수 | 고속 연구 모델 | 클린룸 통합 모델 | 산업 생산 모델 |
|---|---|---|---|
| 역 수 | 2 독립 | 2 독립 | 2개의 독립형(또는 최대 4개까지 맞춤 설정 가능) |
| 회전 속도 범위 | 300 - 10,000rpm | 500 - 8,000rpm | 100 - 3,000rpm(최대 15,000까지 맞춤 설정 가능) |
| 속도 정확도 | ±1rpm | ±3% | ±1rpm(서보) |
| 가속도 제어 | 프로그래밍 가능한 다단계 | PID 규제 | 프로그래밍 가능한 다단계 |
| 기판 크기(맞춤형) | 스테이션당 최대 200mm(8") | 스테이션당 최대 300mm(12") | 최대 450mm(18") - 맞춤형 가능 |
| 프로그래밍 가능한 단계 | 스테이션당 10단계 | 스테이션당 5단계 | 레시피 기반(무제한) |
| 진공 시스템 | 스테이션당 독립 펌프 | 공유 + 솔레노이드 밸브 | 독립형 고유량 펌프 |
| 청결도 수준(선택 사항) | 해당 없음 | 클래스 100(Fed Std. 209E) | 클래스 1000 또는 맞춤형 |
| 인클로저 재료 | 스테인레스 스틸/PTFE | 스테인레스 스틸 + 부식 방지 | 내화학성 코팅 |
| 디스펜스 시스템 | 수동 주사기 / 노즐 | 반자동 정량 펌프 | 서보 구동 자동 투여 |
| 인터페이스 | 스테이션당 7인치 터치스크린 | 듀얼 터치스크린 | 데이터 로깅 기능이 있는 PLC + HMI |
| 전원공급장치 | AC 110/220V, 50/60Hz | AC 220V, 50/60Hz | AC 380V, 50/60Hz(맞춤형) |
| 치수 | ~700×400×300mm | 650×750×1620mm | 맞춤형 |
| 무게 | ~28kg | ~120kg | 맞춤형 |
이 듀얼 스테이션 스핀 코터는고도로 맞춤화 가능특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하려면:
A: 듀얼 스테이션 기계는 하나의 제어 시스템과 공간을 공유하는 동시에 한 명의 작업자가 코팅하는 동안 한 명의 작업자가 한 스테이션을 로드/언로드할 수 있도록 하여 유휴 시간을 없애줍니다. 이로 인해 총 투자액이 낮아지고 실험실 공간이 작아지며 처리량은 높아집니다.
답: 그렇습니다. 각 스테이션에는 독립적으로 프로그래밍 가능한 제어 장치가 있어 교차 오염 없이 동시에 다양한 재료나 기판 크기를 코팅할 수 있습니다.
A: 척은맞춤형기판 크기 및 재료를 기준으로 합니다. 우리는 원형 웨이퍼(2"-12")용 표준 척을 제공합니다.맞춤형 척정사각형, 직사각형 또는 불규칙한 인쇄물에 적합합니다.
담당자: Mr. Zhang guoxin
전화 번호: +86 13926890692
팩스: 86-769-88120350
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