|
상세 정보 |
|||
| 무게: | 순 중량 : 150kg; 총 체중 : 160kg | 생산 이름: | 24역 스핀 코팅 라인 |
|---|---|---|---|
| 코팅 방식: | 스핀코팅 | 응용 프로그램 유형: | 산업용 |
| 재료: | 펄프 | 제어 인터페이스: | 7 인치 나일론 터치 스크린 |
| 안전 기능: | 비상 정지, 과부하 보호 | 주요 판매 포인트: | 펄스 폼 코팅 |
제품 설명
처리량이 많은 24위치 자동 스핀 코팅 시스템 – 웨이퍼, 유리, OLED 기판용 – 맞춤형 디스펜싱
제품개요
그만큼24-스테이션 스핀 코터포토레지스트, 폴리머, 졸겔 및 나노입자를 웨이퍼, 유리 기판 또는 디스크에 균일하게 증착하도록 설계된 고처리량 박막 코팅 시스템입니다. 각 스테이션은 독립적으로 프로그래밍되거나 배치 모드로 실행될 수 있습니다.
기계는 완전히 맞춤화 가능합니다.- 스테이션 배치, 회전 속도 프로파일, 디스펜스 방법, 보울 재질 및 배기 설계 - R&D, 파일럿 라인 또는 생산 환경에 적합합니다.
기술적인 매개변수
| 매개변수 | 표준값 | 맞춤형 범위 |
|---|---|---|
| 역수 | 24 | 12 / 16 / 24 /맞춤형 |
| 최대 기판 직경 | 8인치(200mm) | 최대 300mm(12인치)맞춤형 |
| 회전 속도 범위 | 100 - 8000RPM | 1 - 12000RPM맞춤형 |
| 속도 정확도 | ±1RPM | ±0.5RPM맞춤형(폐쇄 루프) |
| 가속 범위 | 100 - 20000RPM/초 | 맞춤형소프트웨어를 통해 |
| 프로그래밍 가능한 단계 | 레시피당 10단계 | 맞춤형(PC를 통해서는 무제한) |
| 레시피 저장 | 100가지 레시피(HMI) | 맞춤형(네트워크 드라이브/클라우드) |
| 분배 유형 | 정적, 동적, 선, 나선형 | 맞춤형노즐 패턴 및 타이밍 |
| 그릇 재료 | 폴리프로필렌(PP) | PTFE / 스테인레스 스틸 / 유리맞춤형 |
| 진공 척 유형 | 단일 중앙 구멍 | 다중 구역/에지 그립맞춤형 |
| 배기유량 | 스테이션당 60m³/h | 맞춤형클린룸 요구 사항에 맞춰 |
| 전원공급장치 | 220V / 50Hz (단상) | 110V - 240V, 50/60Hz맞춤형 |
응용
- 반도체 / MEMS- 웨이퍼용 포토레지스트 코팅(2″~8″)
- OLED/디스플레이 제조- 폴리머 층 증착
- 대학 및 연구실- 재료 과학, 졸겔 필름
- 의료기기 코팅- 생체적합성 필름
- 사용자 정의 가능: 페로브스카이트 태양전지, 탄소나노튜브 증착, 후막 페이스트
주요 특징
- 일괄 또는 독립 스테이션 작동- 각 스테이션은 서로 다른 레시피를 실행할 수 있습니다.
- 폐쇄 루프 RPM 제어- 다양한 하중에서도 속도를 유지합니다.
- 엣지 비드 제거(EBR)선택한 스테이션에서는 선택 사항
- 자동 분배 동기화스핀 가속 프로파일 포함
- 진공 감지 및 인터록- 적절한 척 진공이 없으면 스핀을 방지합니다.
- 터치스크린 인터페이스실시간 속도/시간/단계 표시
사용자 정의 옵션
모든 모델 지원완전한 맞춤화:
- 스테이션 수(이중 계층 구성에서는 최대 48개)
- 스핀 모터 유형(브러시리스 DC/서보/공기 구동)
- 토출 자동화(시린지펌프/연동식/가압탱크)
- 환경제어(온도/습도/불활성가스 퍼지)
- 클린룸 적합성(클래스 10 ~ 클래스 100,000 -맞춤형)
- 제조 실행 시스템을 위한 SECS/GEM 또는 RS232 데이터 내보내기
지원 및 서비스
- 전자제품 24개월 보증, 모터 12개월 보증
- 평생 전화/이메일/WhatsApp 기술 지원
- 현장 교육 및 설치(산업용 모델용)
- 예비 부품은 48시간 이내에 전 세계로 배송됩니다.
- 맞춤형 엔지니어링 지원(CAD 도면 + PLC 코드) 포함
포장 및 배송
- 포장: 정전기 방지 진공 백 + 폼 고정 장치 + 강화된 수출용 상자(벤치 모델) 또는 합판 상자(바닥 모델)
- 배송 방법: DHL/FedEx(소형 단위), 해상 화물(FOB/CIF), 항공 화물
- 배송 리드타임: 20 - 45일 기준사용자 정의 수준
자주 묻는 질문
Q: 24개 스테이션 모두가 서로 다른 속도로 동시에 작동할 수 있나요?
A: 예, 아니오 - 독립 모터 버전(더 높은 비용)에서는 예입니다. 공유 드라이브 버전에서는 모두 동일한 속도로 실행되지만 분배 타이밍이 다를 수 있습니다.맞춤형당신의 필요에.
Q: 척이 수용할 수 있는 최소 기판 크기는 얼마입니까?
A: 표준 척은 2″ ~ 8″을 고정합니다. 작은 조각(1cm × 1cm)의 경우 다음과 같이 할 수 있습니다.사용자 정의진공 구역이 감소된 진공 척.
Q: 이 코터를 고점도 재료(SU-8 또는 두꺼운 포토레지스트 등)에 사용할 수 있습니까?
답: 그렇습니다. 우리는 할 수 있다사용자 정의고점도 응용 분야를 위한 모터 토크 및 분배 노즐(더 큰 게이지).
이 제품에 대한 자세한 내용을 알고 싶습니다
