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상세 정보 |
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| 코팅 두께: | 180g ~ 400g | 인버터 브랜드: | 슈나이더 |
|---|---|---|---|
| 전달 방향: | 왼쪽에서 오른쪽으로. | 습기: | 50±10°C |
| 등록 정확성: | ± 0.15mm | 기계 시험 보고서: | 제공 |
| 평균 속도: | 0 ~ 20m/분 | 최대 코팅 너비: | 790*1150mm |
| 강조하다: | 12역 자동 스핀 코터,반도체 필름 퇴적 기계,페로브스카이트 스핀 코팅 장비 |
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제품 설명
반도체 및 페로브스카이트 필름 준비를 위한 고정밀 12-스테이션 자동 스핀 코터
제품개요
이 12-스테이션 스핀 코터는 다음을 위해 설계되었습니다.고처리량 박막 증착, 웨이퍼, 유리 및 유연한 기판을 지원합니다. 각 스테이션은 ±1rpm 정확도를 달성하는 폐쇄 루프 제어를 통해 독립적인 속도, 가속도 및 코팅 시간 설정을 제공합니다.스테이션 수, 분배 방법, 챔버 크기 및 배기 시스템을 모두 사용자 정의할 수 있습니다., R&D와 파일럿 생산 모두에 이상적입니다.
기술 사양
| 매개변수 | 값/범위 | 사용자 정의 옵션 |
|---|---|---|
| 역수 | 12 | 사용자 정의 가능: 4/8/12/16개 스테이션 |
| 속도 범위 | 100 - 10,000rpm | 12,000rpm까지 확장 가능 |
| 가속 범위 | 50 - 10,000rpm/s | 맞춤형 |
| 속도 정확도 | ±1rpm | - |
| 최대 기판 크기 | 직경 150mm | 최대 200mm까지 맞춤 설정 가능 |
| 챔버 재료 | PP / PTFE / 316L 스테인레스 스틸 | 맞춤형 접점 재료 |
| 환경 관리 | 배기 및 퍼지 가능 | 맞춤형 N₂ 퍼지 모듈 |
| 프로그램 저장 | 1000개 이상의 레시피 | - |
| 전원공급장치 | AC 220V / 50Hz | 110V/60Hz로 맞춤 설정 가능 |
응용
- 페로브스카이트 태양전지 필름
- 포토레지스트 코팅(반도체 리소그래피)
- 졸겔박막
- OLED 및 양자점 발광층
- 바이오센서 코팅
- 비평면 또는 유연한 기판에 맞게 맞춤화 가능
사용자 정의 옵션
- 시스템 수준 및 프로세스 수준 사용자 정의
- 스테이션 수, 레이아웃, 디스펜싱 경로
- 챔버 크기 및 재질(내산성, 내용제성)
- 자동 세척 및 폐용제 회수 시스템
- 가열/UV/IR 코팅 후 경화 모듈
- 공장 MES/ERP 데이터 인터페이스 통합
주요 특징
- 12개의 독립적으로 구동되는 스테이션별도의 모터 및 제어 장치 포함
- 높은 가속 응답- 0.5초 미만으로 설정 속도에 도달
- 다중 지점 분배 프로그래밍- 동적/정적 디스펜싱 지원
- 교차오염 방지- 스테이션별 독립 배기 채널
- 원클릭 레시피 불러오기선택적 바코드 스캐닝 시작 포함
- 맞춤형 안전 인터록 및 비상 정지 로직
지원 및 서비스
- 글로벌 원격 지원(TeamViewer/VPN)
- 현장 설치 및 교육(선택 사항)
- 공정 컨설팅 - 점도/속도/두께 모델링
- 현지 예비 부품 재고 -맞춤형 예비 부품 키트 제공
- 18개월 보증(의도적인 손상 제외)
포장 및 배송
- 충격 방지 목재 케이스(ISTA 표준 준수)
- 내부에 건조제 및 습도 표시기가 포함되어 있습니다.
- 배송 방법: 해상/항공/육지 -맞춤형 수출 라벨링 및 훈증 증명서 제공
- 리드 타임: 표준 모델의 경우 4주, 맞춤형 모델의 경우 6~8주
자주 묻는 질문
Q1: 8인치 웨이퍼에도 코팅이 가능한가요?
A: 표준 최대값은 150mm입니다. -최대 200mm까지 사용자 정의 가능한 챔버.
Q2: 서로 다른 스테이션에서 서로 다른 레시피를 동시에 실행할 수 있습니까?
A: 예. 각 스테이션은 독립적으로 프로그래밍이 가능합니다.
Q3: N2 환경 코팅이 지원되나요?
에이:산소 모니터링이 포함된 전체 챔버 N2 퍼지를 맞춤화할 수 있습니다..
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