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제품 상세 정보:
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| 코팅 두께: | 180g ~ 400g | 인버터 브랜드: | 슈나이더 |
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| 전달 방향: | 왼쪽에서 오른쪽으로. | 습기: | 50±10°C |
| 등록 정확성: | ± 0.15mm | 기계 시험 보고서: | 제공 |
| 평균 속도: | 0 ~ 20m/분 | 최대 코팅 너비: | 790*1150mm |
| 강조하다: | 12역 자동 스핀 코터,반도체 필름 퇴적 기계,페로브스카이트 스핀 코팅 장비 |
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이 12-스테이션 스핀 코터는 다음을 위해 설계되었습니다.고처리량 박막 증착, 웨이퍼, 유리 및 유연한 기판을 지원합니다. 각 스테이션은 ±1rpm 정확도를 달성하는 폐쇄 루프 제어를 통해 독립적인 속도, 가속도 및 코팅 시간 설정을 제공합니다.스테이션 수, 분배 방법, 챔버 크기 및 배기 시스템을 모두 사용자 정의할 수 있습니다., R&D와 파일럿 생산 모두에 이상적입니다.
| 매개변수 | 값/범위 | 사용자 정의 옵션 |
|---|---|---|
| 역수 | 12 | 사용자 정의 가능: 4/8/12/16개 스테이션 |
| 속도 범위 | 100 - 10,000rpm | 12,000rpm까지 확장 가능 |
| 가속 범위 | 50 - 10,000rpm/s | 맞춤형 |
| 속도 정확도 | ±1rpm | - |
| 최대 기판 크기 | 직경 150mm | 최대 200mm까지 맞춤 설정 가능 |
| 챔버 재료 | PP / PTFE / 316L 스테인레스 스틸 | 맞춤형 접점 재료 |
| 환경 관리 | 배기 및 퍼지 가능 | 맞춤형 N₂ 퍼지 모듈 |
| 프로그램 저장 | 1000개 이상의 레시피 | - |
| 전원공급장치 | AC 220V / 50Hz | 110V/60Hz로 맞춤 설정 가능 |
담당자: Mr. Zhang guoxin
전화 번호: +86 13926890692
팩스: 86-769-88120350
Korean
