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제품 상세 정보:
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| 전압: | 220V/380V | 컨베이어 속도: | 25 ~ 80m/min |
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| 메인 모터 전원: | 1.5kw | 효과적인 레벨링 폭: | 920mm |
| 코팅재료: | 다양한 소재 | 자외선 램프 유형: | 수은 램프 |
| 되감기 접기 오류: | ±0.1mm | 건조형: | IR 건조 |
| 강조하다: | 산업용 엑시머 레이저 처리 시스템,유연한 엑시머 레이저 생산 라인,사용자 정의 가능한 UV 코팅 기계 매개 변수 |
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이 산업용 엑시머 레이저 처리 시스템은 고 정밀 미세 제조, 반도체 반열 및 얇은 필름 패턴을 위해 설계되었습니다.그것은 실시간 모니터링과 자동화 생산 라인에 완전한 통합을 지원이 시스템은 긴 수명 광학과 인공지능 지원 프로세스 제어와 함께 가스 밀폐 된 엑시머 소스를 갖추고 있습니다.
| 매개 변수 | 값 범위 (표준) | 사용자 정의 옵션 |
|---|---|---|
| 파장 | 193 nm / 248 nm / 308 nm | 다파파 전환 (자격) |
| 최대 펄스 에너지 | 0.5~1200mJ | 최대 2000mJ (입법) |
| 펄스 주파수 | 1~6000 Hz | 최대 10kHz (특정) |
| 평균 전력 | 5 ~ 300W | 사용자 정의 확장 가능 |
| 빔 크기 (출구) | 10 × 10mm | 50×50mm까지의 직사각형 빔 (특정) |
| 빔의 균일성 | < ± 3% (σ) | < ± 1% (자격용 광학) |
| 생산 라인 통합 | SMEMA/SECS/GEM | 사용자 지정 PLC 프로토콜 ( 사용자 지정) |
우리는전체 사용자 정의파장 선택, 펄스 에너지, 스캔 필드 크기, 가스 혼합, 냉각 방법 (공기/물/냉장고) 및 생산 라인 통신 프로토콜.사용자 정의 된 빔 전달 팔 및 클래스 -1 장치는 요청에 따라 제공됩니다..
담당자: Mr. Zhang guoxin
전화 번호: +86 13926890692
팩스: 86-769-88120350
Korean
