|
상세 정보 |
|||
| 인버터 브랜드: | 슈나이더 | 포장: | 표준 나무 케이스 |
|---|---|---|---|
| 먹이는 방법: | 하단, 측면 선택 가능 | 작업 스테이션: | 24 |
| 최대 제품 너비: | 500mm | 버전: | 2.0 |
| 차원: | 고객 요구 사항 | 주파수 브랜드: | 실린 또는 슈나이더 |
제품 설명
24-스테이션 스핀 코터 장벽 코팅
이건24역 스핀 코터 장벽 코팅함유되어 있습니다희생 또는 영구적인 격리층주 코팅 (광광, 폴리마이드 또는 다이 일렉트릭) 전 기판에. 교차 오염을 방지하고 가장자리 구슬 형성을 줄이고 용매 공격으로부터 스핀 턱을 보호합니다.맞춤형 고체 함유량, 용매 시스템 및 제거 방법다양한 웨이퍼 크기 (2"~12") 및 장치 계층에 사용할 수 있습니다.
기술 매개 변수
| 매개 변수 | 값 / 범위 |
|---|---|
| 고체 함량 | 2% - 25% (개인 조정 가능) |
| 점착성 (cP @ 25°C) | 3 - 150 (조정 가능) |
| 밀도 (g/cm3) | 0.85 - 110 |
| 회전 속도 범위 | 500~6000 rpm (24개의 스테이션이 동기화) |
| 필름 두께 (스핀 후) | 0.1 - 5.0 μm (조정 가능) |
| 건조 온도 | 80~200°C (열판 또는 오븐) |
| 건조 시간 | 30~180초 |
| 금속 이온 함량 (Na, K, Fe) | < 10ppb 각 (고순도 등급) |
| 입자 수 (≥0.2μm) | < 30 / mL |
| 제거 방법 | 용매 스트립 (NMP, PGMEA) 또는 열 분해 |
신청서
- 반도체 웨이퍼 가공(전면 및 뒷면)
- MEMS 및 센서 제조
- 복합 반도체 (GaN, SiC) 스핀 코팅
- LED 광소 및 보호층
- R & D 24 포지션 기능의 스핀 코터
- 맞춤형 기판(글라스, 사파이어, 금속, 폴리머 필름)
사용자 정의
우리는 24 스테이션 스핀 코터에 대한 완전한 커스터마이징을 제공합니다:
- 용매 시스템(PGMEA, 사이클로헥산론, 아니솔, 수산성)
- 제거 방법(위트 스트립, 재질, 또는 영구 유지)
- 가장자리 구슬 감소 효과(조정 가능한 회귀 접촉 각)
- 웨이퍼 크기 호환성(2", 4", 6", 8", 12")
- 대량500mL (연구개발) 에서 20L (생산) 까지
- 낮은 금속 및 낮은 입자고객 사양에 따라 사용할 수 있는 등급
특징
- ✅ 스핀 턱과 커버 컵에 오염 저항 방지
- ✅ 가장자리의 고도를 60-80% 감소시킵니다.
- ✅ 자동 공급 및 EBR 시스템과 호환됩니다.
- ✅ 적절한 벗기 후 코팅 후 잔류가 없습니다.
- ✅ 200°C 까지 열 안정성 (가스 배출 없이)
- ✅ 결함 밀도가 낮다 (<0.05 결함/cm2)
- ✅희생층승강 과정용
지원 및 서비스
- 프로세스 최적화24 스테이션 스핀 코터 (속도/속속/발전)
- 자유 잔해물 검사당신의 웨이퍼 유형에
- 현장 또는 원격 설치 지원
- 맞춤식 공식 개발15일 이내에
- 소재 안전 데이터 시트 (SDS)+ 가공 가이드
- 24/7 기술 지원생산 라인
포장 및 운송
- 표준 포장: 1L, 4L, 20L HDPE 병 (두 개의 가방)
- 맞춤형 포장: 200L 드럼, 1000L IBC 또는 자동 분비용 밀폐 주사기 카트리지
- 선박: 청정실 용품, 3급 연화성 (용해제 기반의 경우) 또는 위험하지 않은 (물 기반의 경우)
- 선행 시간: 5 일 재고, 12-18 일 사용자 지정 대량
- 저장: 6-12개월 @15-25°C 원래 밀폐 된 용기에
자주 묻는 질문
Q1: 이 장벽 코팅은 모든 24 스테이션 스핀 코팅에 사용할 수 있습니까?
A: 네. 액체는맞춤형다른 노즐 유형 (정형, 선형 스캔, 또는 스프레이) 및 스핀 턱 디자인 (실공 또는 기계적). 최적화를 위해 코팅 모델을 제공하십시오.
Q2: 영구적이거나 제거 가능한가요?
A: 둘 다. 표준 버전은벗겨질 수 있는(용매 또는 재) 보호층 응용을위한 영구 버전이 제공됩니다.
Q3: 광 저항 접착력에 영향을 줄까요?
A: 아닙니다. 장벽 코팅은 완전히 제거되거나 표면 에너지와 일치하도록 설계되었습니다. 접착 테스트가 제공 될 수 있습니다.
이 제품에 대한 자세한 내용을 알고 싶습니다
