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상세 정보 |
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| 종이 두께: | 80~600g/m2 | 최대 용지 너비: | 1150mm |
|---|---|---|---|
| 총 중량: | 1350kg | 전달 속도: | 25 - 80m/분 |
| 맥스 되감기 지름: | 1500mm | 코팅 폭: | 2000mm |
| 회전 장치: | 90o 회전하는 전기를 사용하기 | 컨베이어 벨트: | PVC |
| 강조하다: | 24-포지션 스핀 코팅 시스템,재료 회수 기능이 있는 스핀 코팅 시스템,맞춤형 척 노즐 스핀 코터 |
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제품 설명
스마트 소재 복구 기능을 갖춘 24위치 스핀 코팅 시스템 | 손실을 최소화하는 맞춤형 척 및 노즐
제품개요
이 재료 절약형 24스테이션 스핀 코터는 처리량이 많은 코팅 라인에서 포토레지스트, 폴리이미드 또는 전구체 용액 낭비를 최소화하도록 설계되었습니다. 과잉 액체를 폐기하는 기존 스핀 코터와 달리 당사 시스템은 맞춤형 EBR(에지 비드 제거) 재활용, 낮은 데드 볼륨 디스펜스 라인 및 사전 습식 최적화 로직을 통합하여 재료 소비를 25-40% 줄입니다.
24개 스테이션 각각은 솔루션 사용에 대한 독립적인 폐쇄 루프 모니터링을 통해 작동됩니다. 기계는 균일한 적용 범위에 필요한 최소 볼륨을 학습한 다음 기판당 분배량을 자동으로 조정합니다. 맞춤형 용제 회수 용기와 결합된 이 시스템은 재여과 또는 폐기를 위해 회전되지 않은 화학물질의 85% 이상을 수집하여 소유 비용을 크게 낮춥니다.
24개 스테이션 모두 중앙 PLC+HMI에 의해 제어되며, 이 장치는 스테이션별 레시피 맞춤화를 지원하여 서로 다른 재료, 회전 곡선 및 인접한 스테이션에 대한 저장 전략을 동시에 허용합니다.
기술적인 매개변수
| 매개변수 | 표준값 | 사용자 정의 범위(재료 절약 초점) |
|---|---|---|
| 역수 | 24 | 12/16/24/32(맞춤 설정 가능) |
| 최대 기판 크기 | 직경 200mm 또는 정사각형 156×156mm | 50 - 300mm(낮은 가장자리 손실을 위한 맞춤형 척) |
| 회전 속도 범위 | 0 - 6000rpm | 0 - 8000rpm(폐기물이 적은 소프트 가속) |
| 재료절감율 | 평균 30% | 10% - 50%(맞춤형 분배 로직) |
| 기판당 최소 분배량 | 1.5mL(150mm 웨이퍼용) | 0.5 - 5 mL(맞춤형 노즐 설계) |
| 유체 경로의 데드 볼륨 | < 0.3mL | < 0.1 mL(맞춤형 튜빙 및 밸브) |
| EBR 용제 절약 모드 | 표준 가장자리 절단만 해당 | 사용자 정의 EBR 패턴(사용자 정의 가능) |
| 코팅 균일성 | < ±3% @3000rpm | 재료를 절약하는 낮은 회전 속도로 ±2% |
| 폐화학물질 회수효율 | 85% | 최대 92%(배수구 디자인의 맞춤형 그릇) |
| 화학물질 보충 알림 | 수동 | 소비량 추적을 통한 자동 리필(사용자 정의 가능) |
| 전원공급장치 | 400V / 50Hz / 3P | 208V - 480V(맞춤형) |
| 기계 설치 공간(W×D×H) | 2100×1200×1900mm | 클린룸에 맞게 맞춤화 가능한 너비/깊이 |
생산 라인 통합
재료 효율적인 코팅 라인에 통합되면 24스테이션 스핀 코터는 다음과 결합됩니다.
- 낮은 불감량 화학물질 분배 시스템- 각각 <0.5 mL의 잔여물이 있는 병 1-12개
- 사전 습식 스테이션- 재활용 용제를 사용하여 기판을 미리 적십니다(신선한 재료 절약).
- 24 스테이션 스핀 코터- 재료 절약형 그릇이 포함된 본체
- 용매 회수 기능이 있는 엣지 비드 제거제(EBR)-맞춤형 절단 폭 및 속도
- 코팅 후 베이킹 및 냉각- 선택사항
- 화학물질 재활용 장치- 중요하지 않은 층에 대한 여과 + 재혼합
- 용제 응축 트랩이 있는 배기- 증발된 용매 회수(>70%)
대상 응용 프로그램
- 반도체 포토레지스트 코팅- 비용에 민감한 팹(메모리, 로직, 전력 장치)
- 페로브스카이트 태양전지- 고가의 전구체 용액(Pb, 유기 할로겐화물)
- OLED/QLED 정공주입층- 값비싼 PEDOT:PSS 또는 폴리머 잉크
- R&D 파일럿 라인- 자재수량이 제한되어 있는 경우
- MEMS 및 미세유체공학- SU-8, BCB 등 고가의 폴리머
- 리튬 배터리 코팅- 분리막이나 전극의 슬러리 절약
- 코팅 약품 비용이 $100/L 이상인 모든 생산 라인
최대 자재 절약을 위한 맞춤화
이 24개 스테이션 스핀 코터는 최고의 원자재 경제성을 달성하기 위해 고도로 맞춤화 가능합니다.
- 디스펜스 노즐 유형- 바늘, 슬릿, 스프레이 -용액 점도에 맞게 맞춤화 가능
- 분배량 논리- 고정, 동적 또는 AI 지원 최소 볼륨 학습
- EBR(에지 비드 제거) 패턴- 위치, 너비, 속도 및용제 재활용 켜기/끄기
- 보울 배수 설계- 매끈한 보어와 골이 있는 보어 - 회복률에 영향을 미침
- 용제 회수 시스템- 통합 증류 또는 단순 수집 드럼
- 케미칼 라인 소재- PP, PTFE, 스테인레스 스틸(흡착손실 방지)
- 뒷면 린스- 옵션, 전용 저유량 노즐 포함
- 사전 습식 프로그램- 용매 종류, 용량, 회전 속도 -스테이션별로 완전히 맞춤화 가능
- 보고- 교대/주별 자재 사용량 - 맞춤형 대시보드
"모든 화학 물질 한 방울이 고려되며 모든 절약 방법은 귀하의 공정에 맞게 맞춤화될 수 있습니다."
재료 절약 기능
- 지능형 최소 볼륨 감지- 균일성이 실패할 때까지 분배를 5% 단계씩 자동으로 줄입니다.
- 폐쇄 루프 폐기물 추적- 기판 1000개당 절약된 재료를 실시간으로 표시
- 낮은 불감 부피 유체 매니폴드- <0.3 mL 총 잔류량(표준 경쟁사: 2-5 mL)
- EBR 용매 재활용 루프- 사용된 에지-비드 용매를 필터링하고 사전 습식에 재사용
- 개별 스테이션 교정- 각 노즐 볼륨을 별도로 다듬을 수 있습니다.
- 과잉 분배에 대한 경고- 화학물질 사용량이 레시피 임계값을 15% 초과하는 경우 라인을 중지합니다.
- 진공 척 최적화- 가장자리 제외 영역을 최소화하여 대형 기판의 재료를 절약합니다.
- 노즐 드립 캐처- 인덱스 중 한 방울의 손실을 방지합니다.
지원 및 서비스
- 무료 자재 절약 감사- 현재 폐기물을 분석하고 절약 가능성을 추정합니다.
- 연중무휴 원격 지원- 디스펜스 튜닝 및 저장 로직용
- 현장 교정- 옵션(2일), 노즐량, EBR 패턴 포함
- 12개월 보증- 월간 저장 데이터를 당사와 공유하는 경우 24개월로 연장됩니다.
- 예비 부품- 노즐, 밸브, 튜빙의 빠른 배송 프로그램
- 소프트웨어 업데이트- 새로운 저장 알고리즘을 2년간 무료로 제공
포장 및 배송
| 목 | 방법 |
|---|---|
| 포장 | 내화학성 포장재 + 건조제 + 훈증소독 합판 상자 |
| 유체 경로 보호 | N2로 퍼지하고 잔여물이 건조되는 것을 방지하기 위해 캡을 씌웠습니다. |
| 배송 기간 | FOB / CIF / EXW (상하이/심천) |
| 리드타임 | 영업일 기준 45~55일(맞춤형: +15일) |
| 수송 | 40' HC 컨테이너(1개) 또는 긴급 주문을 위한 항공 화물 |
| 서류 | CE 선언, 재료 절약 검증 보고서, 유지 보수 가이드 |
자주 묻는 질문
Q1: 표준 스핀 코터에 비해 이 기계는 정확히 얼마나 재료를 절약합니까?
A: 세 가지 방법: ①가능한 가장 작은 분배(소재별로 맞춤 제작 가능), ②EBR 용매 재사용사전 습식의 경우, 그리고 ③낮은 불감량 배관(긴 튜브에는 화학 물질이 남지 않습니다). 일반적인 절감 효과는 중량 기준으로 30~40%입니다.
Q2: 24개 스테이션 모두에서 동일한 맞춤형 저장 방법을 사용할 수 있나요?
A: 예 - 그렇지 않으면 가능합니다.스테이션별로 맞춤 설정. 예: 스테이션 1-6은 저장 우선순위 없이 저비용 레지스트를 사용하고, 스테이션 7-24는 공격적인 저장과 함께 비싼 레지스트를 사용합니다.
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