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제품 상세 정보:
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| 종이 두께: | 80~600g/m2 | 최대 용지 너비: | 1150mm |
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| 총 중량: | 1350kg | 전달 속도: | 25 - 80m/분 |
| 맥스 되감기 지름: | 1500mm | 코팅 폭: | 2000mm |
| 회전 장치: | 90o 회전하는 전기를 사용하기 | 컨베이어 벨트: | PVC |
| 강조하다: | 24-포지션 스핀 코팅 시스템,재료 회수 기능이 있는 스핀 코팅 시스템,맞춤형 척 노즐 스핀 코터 |
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이 재료 절약형 24스테이션 스핀 코터는 처리량이 많은 코팅 라인에서 포토레지스트, 폴리이미드 또는 전구체 용액 낭비를 최소화하도록 설계되었습니다. 과잉 액체를 폐기하는 기존 스핀 코터와 달리 당사 시스템은 맞춤형 EBR(에지 비드 제거) 재활용, 낮은 데드 볼륨 디스펜스 라인 및 사전 습식 최적화 로직을 통합하여 재료 소비를 25-40% 줄입니다.
24개 스테이션 각각은 솔루션 사용에 대한 독립적인 폐쇄 루프 모니터링을 통해 작동됩니다. 기계는 균일한 적용 범위에 필요한 최소 볼륨을 학습한 다음 기판당 분배량을 자동으로 조정합니다. 맞춤형 용제 회수 용기와 결합된 이 시스템은 재여과 또는 폐기를 위해 회전되지 않은 화학물질의 85% 이상을 수집하여 소유 비용을 크게 낮춥니다.
24개 스테이션 모두 중앙 PLC+HMI에 의해 제어되며, 이 장치는 스테이션별 레시피 맞춤화를 지원하여 서로 다른 재료, 회전 곡선 및 인접한 스테이션에 대한 저장 전략을 동시에 허용합니다.
| 매개변수 | 표준값 | 사용자 정의 범위(재료 절약 초점) |
|---|---|---|
| 역수 | 24 | 12/16/24/32(맞춤 설정 가능) |
| 최대 기판 크기 | 직경 200mm 또는 정사각형 156×156mm | 50 - 300mm(낮은 가장자리 손실을 위한 맞춤형 척) |
| 회전 속도 범위 | 0 - 6000rpm | 0 - 8000rpm(폐기물이 적은 소프트 가속) |
| 재료절감율 | 평균 30% | 10% - 50%(맞춤형 분배 로직) |
| 기판당 최소 분배량 | 1.5mL(150mm 웨이퍼용) | 0.5 - 5 mL(맞춤형 노즐 설계) |
| 유체 경로의 데드 볼륨 | < 0.3mL | < 0.1 mL(맞춤형 튜빙 및 밸브) |
| EBR 용제 절약 모드 | 표준 가장자리 절단만 해당 | 사용자 정의 EBR 패턴(사용자 정의 가능) |
| 코팅 균일성 | < ±3% @3000rpm | 재료를 절약하는 낮은 회전 속도로 ±2% |
| 폐화학물질 회수효율 | 85% | 최대 92%(배수구 디자인의 맞춤형 그릇) |
| 화학물질 보충 알림 | 수동 | 소비량 추적을 통한 자동 리필(사용자 정의 가능) |
| 전원공급장치 | 400V / 50Hz / 3P | 208V - 480V(맞춤형) |
| 기계 설치 공간(W×D×H) | 2100×1200×1900mm | 클린룸에 맞게 맞춤화 가능한 너비/깊이 |
재료 효율적인 코팅 라인에 통합되면 24스테이션 스핀 코터는 다음과 결합됩니다.
이 24개 스테이션 스핀 코터는 최고의 원자재 경제성을 달성하기 위해 고도로 맞춤화 가능합니다.
| 목 | 방법 |
|---|---|
| 포장 | 내화학성 포장재 + 건조제 + 훈증소독 합판 상자 |
| 유체 경로 보호 | N2로 퍼지하고 잔여물이 건조되는 것을 방지하기 위해 캡을 씌웠습니다. |
| 배송 기간 | FOB / CIF / EXW (상하이/심천) |
| 리드타임 | 영업일 기준 45~55일(맞춤형: +15일) |
| 수송 | 40' HC 컨테이너(1개) 또는 긴급 주문을 위한 항공 화물 |
| 서류 | CE 선언, 재료 절약 검증 보고서, 유지 보수 가이드 |
담당자: Mr. Zhang guoxin
전화 번호: +86 13926890692
팩스: 86-769-88120350
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